重大關鍵技術突破！蘇企助力高端電子顯微技術自主化進程

近日，蘇州博眾儀器科技有限公司成功研發出具有國際領先水平的熱場發射電子源。該產品可以用于電子顯微設備和電子束光刻設備等領域，標志著中國在熱場發射電子源方面實現了國產化替代，為高端電子顯微技術自主化進程提供了強大助力。同時，其作為電子束的共性基礎元件，也將對發展電子束相關設備，如發展電子束光刻機等設備奠定堅實基礎。目前，該產品已取得相關發明專利。

該熱場發射電子源性能卓越，針尖曲率半徑精準控制在 400-900nm 之間，角電流密度達200-500uA/Sr，在 200kV高壓下，亮度可達 6.5x108-1.5x109A/(c㎡·Sr)，能在1700-1850K 的溫度環境下穩定工作。其不僅性能媲美國際頂尖產品，在性價比上更是優勢凸顯。目前，該產品已作為成熟產品對外銷售，進入量產階段，并可提供定制化服務。

長期以來，電子顯微鏡市場，尤其是高端掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等領域，一直被美國的賽默飛、日本的日本電子和日立等企業牢牢把控。電子源作為電子顯微鏡的核心部件，技術門檻極高、研制難度巨大，一直是國產電子顯微鏡發展的瓶頸。而在各類電子源中，熱場發射電子源應用最為廣泛，其亮度遠超鎢燈絲和 LaB6 燈絲，且具有更小的能量分散和光斑直徑。但此前只有賽默飛、日本電子、日立、DENKA 和 YPS 等國外公司擁有成熟產品，國內企業不僅面臨采購周期長、成本高的問題，更在核心技術上無法自主可控。

熱場發射電子源作為透射電鏡的核心部件，自博眾儀器科技公司成立之初就開始研制，歷經 3年多，團隊終于突破關鍵技術難題，成功研制出性能穩定、性價比更高的熱場發射電子源。除透射電子顯微鏡外，本次發布的熱場發射電子源還可應用于掃描電子顯微鏡、聚焦離子束、電子束光刻設備、CD-SEM等電子束相關設備，可應用領域包含高校院所、微納尺度表征、半導體工業等。

未來，博眾儀器還將持續發力，以完成透射電子顯微鏡的完全國產化研發和制造為目標，陸續推出應用于高端儀器設備領域的超高穩定電源等核心產品，為我國高端儀器設備行業的蓬勃發展貢獻力量。（蘇報融媒記者 韓麗媛 實習生 陳雨欣）